- Plage de déplacement 100 µm, 400 µm ou 800 µm
- Réponse nettement plus rapide et durée de vie plus longue que les entraînements motorisés
- Positionnement précis des objectifs avec une résolution inférieure au nanomètre
- Mesure directe de la position à l'aide de capteurs capacitifs : Linéarité maximale
- Compatible avec le logiciel d'imagerie Metamorph
- Grande ouverture claire avec Ø 29 mm
- Imagerie 3D
- Dépistage
- Interférométrie
- Technologie de mesure
- Systèmes autofocus
- Biotechnologie
- Inspection des semi-conducteurs
Durée de vie exceptionnelle grâce aux actionneurs piézo-électriques PICMA
Les actionneurs piézo PICMA® sont entièrement isolés en céramique. Ils sont ainsi protégés contre l'humidité et les défaillances résultant d'une augmentation du courant de fuite. Les actionneurs PICMA® offrent une durée de vie jusqu'à dix fois supérieure à celle des actionneurs conventionnels isolés par des polymères. 100 milliards de cycles sans une seule défaillance ont été prouvés.
Résolution subnanométrique avec les capteurs capacitifs
Les capteurs capacitifs mesurent avec une résolution subnanométrique sans contact. Ils garantissent une excellente linéarité de mouvement, une stabilité à long terme et une bande passante de l'ordre du kHz.
Grande précision de guidage grâce à des guides à flexion sans jeu
Les guides flexibles sont exempts de maintenance, de frottement et d'usure, et ne nécessitent pas de lubrification. Leur rigidité permet une capacité de charge élevée et ils sont insensibles aux chocs et aux vibrations. Ils fonctionnent dans une large gamme de températures.
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