Système d'imagerie moléculaire

Systèmes de caméra sous vide UV / EUV et In Vacuum Les caméras EUV et VUV offrent une haute résolution, une gamme dynamique élevée ainsi qu'une bonne résolution temporelle. Les caméras EUV et VUV offrent une haute résolution (généralement inférieure à 10 microns), une plage dynamique élevée (12 à 16 bits) ainsi qu'une bonne résolution temporelle (jusqu'à la microseconde) qui sont nécessaires pour les sources modernes de décharge plasma pulsé EUV. La caméra peut acquérir des images d'une seule prise de vue ou des images synchronisées de plusieurs prises de vue jusqu'à 13 images par seconde en pleine résolution à partir d'une source EUV native sans souffrir d'artefacts hémorragiques. Des versions à bride et/ou sous vide sont disponibles en fonction de la flexibilité requise pour la caractérisation et l'inspection de l'ébauche de masque, de la réserve, de la source et de l'optique. La réponse de sensibilité peut être étendue de 13,5 nm à 0,0135 nm si la caméra est utilisée pour détecter plusieurs lignes caractéristiques. Le refroidissement profond permet un courant d'obscurité très faible jusqu'à moins de 0,005 électron/pixel/sec pour une exposition prolongée si un signal très faible nécessite de longues périodes d'intégration.