Système de surveillance pour salle blanche APR 4300

de l'environnement

L'APR 4300 décontamine les wafers de 300 mm et leurs boîtes de transport (FOUP) au niveau moléculaire et les protège pendant les temps d'attente. Décontamination fiable et protection contre la contamination L'APR est un système de décontamination des wafers et de protection pendant le temps d'attente. La contamination moléculaire aéroportée (en abrégé AMC) réduit le rendement et la qualité de la production de semi-conducteurs. L'APR empêche efficacement l'adsorption de molécules organiques ou inorganiques contaminées à la surface d'une plaquette et de la boîte de transport. Grâce à l'évacuation des chambres dans l'APR, la probabilité d'adsorption est réduite massivement. Le rendement d'une fab peut ainsi être augmenté de manière significative et les temps d'attente entre les différentes étapes du processus peuvent être optimisés. Comment fonctionne l'APR ? Le FOUP peut être livré soit manuellement, soit au moyen d'un treuil de transport aérien (OHT) sur les deux ports de chargement. L'APR est un système composé de quatre chambres à vide empilées pour la décontamination des plaquettes et des FOUP, qui est desservi par un robot fiable. Toutes les chambres sont équipées d'une station de pompage à vide, d'une boîte à gaz, d'un panneau de commande et d'un contrôle avec alimentation électrique. Les chambres peuvent être utilisées individuellement. Après le chargement de la chambre avec un FOUP contenant des plaquettes, la pression dans la chambre est réduite à < 0,1 mbar. Ensuite, le processus de décontamination est appliqué. Ensuite, la chambre est purgée avec de l'azote propre et ramenée à la pression atmosphérique. Les plaquettes et la boîte de transport sont alors protégées de la contamination pendant plus d'un jour.