Système de surveillance pour salle blanche APA 302

de l'environnement

L'APA 302 est un outil de surveillance en ligne unique pour la fabrication de puces avancées en salle blanche. Cet équipement innovant mesure la contamination moléculaire en suspension dans l'air (en bref AMC) dans un FOUP et dans le milieu environnant. La mesure s'effectue en temps réel avec une sensibilité élevée dans la gamme des ppbv. Surveillance efficace de la contamination L'humidité et la contamination moléculaire aéroportée (AMC), comme le fluorure d'hydrogène (HF), sont libérées dans l'espace entre les FOUPs pendant les temps d'attente. Ces éléments peuvent générer une croissance cristalline sur les plaquettes à motifs, ce qui entraîne une perte de rendement et une dégradation des performances. L'APA 302 de Pfeiffer Vacuum échantillonne l'AMC à travers les filtres FOUP. La mesure se fait en 2 mn avec une grande sensibilité dans la gamme des ppb grâce à la spectroscopie de mobilité des ions, la détection de l'ionisation de flamme, la fluorescence UV ou la spectroscopie de l'anneau de la cavité. Lorsqu'il n'y a pas de FOUP sur les ports de chargement, l'APA 302 surveille l'environnement de la salle blanche environnante. Une analyse fiable de l'environnement du FOUP Afin de garantir les performances, l'APA 302 conforme à la norme SEMI S2/S8 est équipé d'une fonction d'auto-calibration, qui est activée à intervalles réguliers. La surveillance de l'AMC au sein de l'APA peut être exécutée dans des POD avec ou sans wafers. Les FOUP peuvent être livrés soit manuellement, soit par transport à l'aide d'un palan suspendu (OHT) sur les 2 ports de chargement. Ainsi, les temps d'attente entre les différentes étapes du processus peuvent être optimisés, les valeurs accrues de contamination immédiatement reconnues et les rendements augmentés.