Système de surveillance de contamination moléculaire par l'air ambiant AMPC

pour salle blancheen temps réelmultipoint

L'AMPC est la solution idéale pour la surveillance des modules frontaux des salles blanches et des équipements (EFEM). La contamination moléculaire aéroportée (AMC) dans les fabriques de circuits intégrés est connue comme étant le principal facteur de perte de rendement. Pour contrôler et comprendre d'où vient la contamination, Pfeiffer Vacuum apporte maintenant une solution unique sur le marché des semi-conducteurs pour surveiller les salles blanches ainsi que les EFEM (Equipment Front End Module). Avantage pour le client - Mesure en temps réel des composés (acides, bases, composés organiques) - Un logiciel innovant pour gérer la priorité des lignes d'échantillonnage, le contrôle de qualité (CQ) et les alarmes - 96 lignes d'échantillonnage rassemblées sur un seul outil (jusqu'à huit analyseurs) - un débit élevé (analyse et nettoyage en trois minutes) - Pas de contamination croisée d'une ligne de prélèvement à l'autre L'AMPC regroupe les analyseurs les plus avancés pour détecter et quantifier les acides, les bases et les composés organiques dans un maximum de 96 emplacements dans une fab grâce à une conception innovante et intégrée des vannes. La gamme AMPC comprend deux outils : AMPC S et AMPC L où les dimensions extérieures, le nombre de lignes et les options sont différents De plus, le cadre d'extension AMPC offre 39 U d'espace pour des analyseurs supplémentaires. Il peut être utilisé pour la mise à niveau des unités AMPC existantes ou ajouté aux nouvelles unités AMPC S et AMPC L.