Système de surveillance pour salle blanche ADPC 302

de l'environnement

L'ADPC 302 est un système unique de gestion de la contamination en cours de processus pour la surveillance de la contamination par les particules dans l'industrie des semi-conducteurs. Un contrôle efficace des particules Les particules submicrométriques peuvent causer des défauts qui peuvent entraîner une perte de rendement considérable. Même les plus petites particules mesurant 0,1 µm peuvent endommager la structure des puces à semi-conducteurs. L'innovant ADPC 302 mesure le nombre de particules dans les supports de transport de plaquettes (Front Opening Unified Pod, FOUP, et Front Opening Shipping Box, FOSB). Le processus breveté entièrement automatisé localise et compte les particules à partir des surfaces du support, y compris la porte. Qualifié par les principales fabs, ce système peut être utilisé aussi bien pour la production en série que pour l'analyse de la R&D. Les principales applications sont la caractérisation des porteurs, l'optimisation de la stratégie de nettoyage et le contrôle de la qualité du nettoyage. Avantages Le procédé à sec (compteur de particules sèches) de l'ADPC présente des avantages évidents par rapport à la méthode humide traditionnelle (compteur de particules liquides). Le principal avantage du procédé sec est que la mesure des particules est entièrement automatisée. Il est intégré dans le processus de production et ne nécessite donc pas de temps en dehors de la période de production. Grâce à la mesure entièrement automatisée, le processus ne nécessite pas d'opérateur supplémentaire. La durée du test n'est que de sept minutes, ce qui signifie que l'ADPC 302 est quatre fois plus rapide que les systèmes traditionnels. Il est possible de tester huit boîtes de transport en une heure.