Spectromètre de mobilité ionique AMC AirSentry® II
de processpour l'analysede mesure

spectromètre de mobilité ionique
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Caractéristiques

Type
de mobilité ionique
Domaine
de process, pour l'analyse, de mesure, de surveillance, pour l'industrie des semi-conducteurs, pour l'industrie électronique
Configuration
mobile
Autres caractéristiques
de grande sensibilité

Description

Le système de surveillance multi-points AirSentry II est le dispositif de contrôle existant le plus perfectionné pour la contamination moléculaire compteur de particules pour air e (AMC), exploitant la spectrométrie à mobilité ionique sensible et réactive pour détecter et déterminer la contamination moléculaire compteur de particules pour air e depuis plusieurs zones d’une même salle blanche. L’appareil dispose d’un système d’échantillonnage avec vanne multivoies 16 ou 30 points et d’un ordinateur intégré avec logiciel et communications sécurisés. Dans les zones de fabrication des salles blanches modernes, les outils de process sont souvent disséminés en divers points et étages de la salle blanche. Les appareils de traitement de l’air font recirculer la majorité de l’air dans une salle blanche, propageant facilement la contamination moléculaire vers des zones non souhaitées, ce qui a un impact négatif sur les étapes de process se déroulant loin des sources réelles de contamination. Le système de surveillance AMC AirSentry II constitue une station de surveillance centrale et économique qui permet une détection rapide de la contamination, ainsi que des séquences de surveillance pour couvrir un grand nombre de points d’échantillonnage disséminés sur un site. Une partie essentielle d’un programme de surveillance AMC stratégique. Surveille jusqu’à 30 sites d’échantillonnage Est doté de détecteurs de spectrométrie à mobilité ionique (IMS) AirSentry II : sensibles, fiables, reproductibles Détection de faibles concentrations d’acides, d’amines, d’ammoniac et de chlorures Étalonnages traçables selon l’Institut national des normes et des technologies

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