Spectromètre optique AirSentry® II AMC

de mobilité ioniquede processde surveillance

Spectromètre à mobilité ionique au point d’utilisation AirSentry® II La famille AirSentry II des spectromètres à mobilité ionique détectent et alertent les utilisateurs en cas de petites concentrations ou de changements dans les niveaux compteur de particules pour air s de chlorures, d’acides, d’amines et d’espèces contenant de l’ammoniac. Avec une sensibilité en parties par billion, ces détecteurs au point d’utilisation apportent une réponse rapide, une augmentation de la sélectivité de la détection et une performance reproductible. Le fait de combiner les détecteurs AirSentry II à une plateforme logicielle centrale permet de faciliter l’acquisition et l’analyse des données. La famille AirSentry II de détecteurs fournit des données exploitables en continu, afin de permettre une réponse efficace aux sources et événements de contamination. Détection haute sensibilité des acides et bases (amines, ammoniac et chlorures) Configuration de produit polyvalente pour des applications de surveillance au point d’utilisation, multi-points et mobile Sa taille compacte permet de le positionner n’importe où Sorties 4 à 20 mA, RS-232, Ethernet Surveillance d’AMC continue des zones critiques Acquisition, contrôle et analyse robustes et fiables des données Stabilité des données à long terme Coût par test le plus bas Surveillance de la corrosion en temps réel dans les sites de process de gravure Surveillance en temps réel des amines et de l’ammoniac au sein des systèmes de lithographie critiques Quantification de l’efficacité des filtres chimiques Suivi et dépannage des sources de contamination dans les salles blanches et dans les outils de process