Microscope à force atomique NX-Wafer

pour inspection de wafers en ligneindustrielautomatisé

NX-Wafer est le seul système AFM de fabrication de wafers doté d'une fonction de vérification automatique des défauts. Il s'agit d'une solution AFM entièrement automatisée pour l'imagerie et l'analyse des défauts qui améliore la productivité de l'examen des défauts jusqu'à 1 000 % Caractéristiques uniques : Profileur à force atomique à faible bruit pour des mesures de profil CMP précises et à haut débit Mesure de la rugosité de surface inférieure à l'angström avec une extrême précision et une variation minimale d'une pointe à l'autre Logiciel Smart ADR Avec le logiciel Smart ADR de Park, NX-Wafer fournit un examen et une identification des défauts entièrement automatisés, permettant un processus en ligne critique pour classer les types de défauts et trouver leur origine grâce à une imagerie 3D haute résolution. Conçu spécifiquement pour l'industrie des semi-conducteurs, Smart ADR est la solution d'examen des défauts la plus avancée disponible, avec un positionnement automatique de la cible sans avoir besoin de marques de référence qui demandent beaucoup de travail et endommagent souvent l'échantillon. Le processus Smart ADR améliore la productivité jusqu'à 1 000 % par rapport aux méthodes traditionnelles d'examen des défauts. De plus, la nouvelle capacité ADR offre une durée de vie des pointes jusqu'à 20 fois plus longue grâce à la technologie révolutionnaire True Non-Contact™ Mode AFM de Park. Pour en savoir plus : https://www.parksystems.com/index.php/products/industrial-afm/park-wafer/overview