Système de métrologie pour wafers Echo™

pour semiconducteurs

La technologie ultrasonique picoseconde, ou technologie PULSE™, est la norme industrielle pour la métrologie des films métalliques. Le système Echo™ est le dernier ajout à la famille de produits de métrologie acoustique d'Onto Innovation et est conçu pour étendre le leadership à de multiples segments de dispositifs de pointe Présentation du produit Le système Echo est un outil complet de métrologie en ligne des films métalliques pour les mesures de films métalliques à une ou plusieurs couches dans les dispositifs logiques, de mémoire, d'emballage avancé et de semi-conducteurs spécialisés de pointe. La conception optique innovante étend la plage dynamique pour la mesure de l'épaisseur du film de 50Å à 35µm sur une seule plateforme et offre une extensibilité pour mesurer les structures 3D NAND avancées à rapport d'aspect élevé. Le logiciel Expert Applications System (EASy™) offre la flexibilité nécessaire au développement d'algorithmes définis par l'utilisateur pour la modélisation d'empilements multicouches complexes. Le système Echo étend également les capacités de caractérisation des matériaux des systèmes de la technologie PULSE. Outre le module d'Young des films diélectriques à faible coefficient de K dans les BEOL et les masques durs en carbone amorphe dans les NAND 3D, le système Echo comprend une électronique et des algorithmes mis à jour pour la caractérisation du moniteur d'implant et de la conductivité thermique. La petite taille du spot combinée à la rapidité des mesures permet des capacités complètes de cartographie des wafers jusqu'à l'exclusion des bords de 0,5 mm, améliorant ainsi les tours d'information et la qualité de l'information pendant le développement et l'optimisation des processus. Spécifications - Mesures opto-acoustiques en ligne utilisant un laser ultrarapide femtoseconde - La petite taille du spot (8x10µm) permet d'effectuer des mesures dans un site de 15µm - Epaisseur typique des films métalliques de 50Å à 35µm - Haut débit jusqu'à 60wph