Système de métrologie pour wafers IVS series

pour semiconducteurs

La série IVS fournit une métrologie de recouvrement optique et de CD pour les marchés des semi-conducteurs, des semi composés, des dispositifs de puissance, des RF, des MEMS et des LED. Les systèmes offrent des performances de mesure supérieures avec des mesures de recouvrement et de CD dans la même recette Présentation du produit Le système IVS 220 est la dernière génération de la série IVS et a été conçu pour une précision, un TIS (décalage induit par l'outil) et un débit ultimes sur des plaquettes de 200 mm. La pierre angulaire de la fiabilité et de la stabilité du système est son temps moyen entre les défaillances (MTBF) de 2 100 heures. L'IVS 280 offre les mêmes capacités dans un boîtier conçu pour être manipulé sur des rails aériens et doté de toutes les fonctionnalités de l'E84 GEM300. La flexibilité est essentielle dans les processus de fabrication de semi-conducteurs composés où de nombreuses tailles, épaisseurs et processus de plaquettes différents peuvent être utilisés sur la même ligne. Le système IVS est idéal pour ces conditions. La manipulation polyvalente des plaquettes s'adapte à de nombreuses variations dans la composition des plaquettes, notamment le silicium, le carbure de silicium, le quartz, le verre, le GaAs, le GaN, le LiNO3 et l'InP. La série IVS comprend également le système IVS 200, qui est idéal pour les petites usines et permet de passer des anciennes versions de la plate-forme IVS aux spécifications IVS 200. La série IVS permet de garantir une disponibilité optimale du système et des années de fonctionnement sans problème. La conception robuste du système de manipulation et de navigation des wafers ne nécessite aucune assistance de l'opérateur pendant l'exécution de la recette. Les recettes et les données restent stables dans le temps. Des algorithmes spécifiques pour les applications MEMS permettent de mesurer un large éventail de structures MEMS. Les capacités démontrées de la série IVS à fonctionner avec une grande précision et une fiabilité solide distinguent ce système.