Machine d'inspection pour wafers AWX FSI

de particulesindustriellede défauts

Le système AWX FSI est essentiel pour les fabricants de wafers afin de fournir un contrôle rapide des particules dans les outils de processus critiques. Aperçu du produit Les wafers non structurés nécessitent le contrôle qualité fourni par le système AWX FSI, avec une inspection laser à fond noir pour détecter les particules, les rayures, les défauts de surface et la microrugosité (haze) sur les wafers nus. Le système AWX FSI est capable de mesurer différents substrats, matériaux et tailles de plaquettes, y compris le silicium nu et les plaquettes dopées ou revêtues. La manipulation automatisée de différents types de cassettes ouvertes et d'un pré-aligneur offre une grande flexibilité pour l'utilisation de cet outil dans divers environnements, de la R&D à la production en passant par l'assurance qualité. L'outil d'inspection AWX peut traiter des plaquettes de 150 mm, 200 mm et 300 mm, ce qui permet un tri automatique des plaquettes en fonction des résultats de l'inspection. Spécifications - Inspection automatisée de wafers de 150/200/300 mm - Sensibilité de l'ordre du nanomètre - Brume - Capacité de triage - Configuration flexible des outils - Classification automatique des défauts