Machine d'inspection de surface EB40™

pour wafersindustriellede défauts

Combinaison de l'inspection des bords et de la face arrière en un seul module Aperçu du produit Les modules E40 et B40 certifiés Classe 1 (disponibles séparément ou combinés en un seul module) peuvent détecter automatiquement les défauts sur l'ensemble du bord, de la zone 1 à 5, et sur l'ensemble de la face arrière. La possibilité d'inspecter la totalité de la face arrière permet d'accélérer l'analyse de la cause profonde des défauts de la zone 5, car ces défauts peuvent migrer de l'intérieur de la plaquette. Le module EB40 capture des images de défauts à la volée, crée des images composites de la tranche entière et est entièrement intégré pour l'examen du biseau par MEB. Tous les résultats d'inspection et de métrologie, y compris les images des défauts, de la tranche entière et du MEB, peuvent être analysés ensemble dans une seule base de données à l'aide de notre logiciel d'analyse Discover Defect. La corrélation de la métrologie EBR avec les données de défectuosité sur toute la surface, les données MEB et les résultats de micro-inspection n'est que le début de ce que le logiciel Discover peut faire. En plus du classement avancé des défauts sur l'outil, la classification ADC des bords en temps réel peut être attribuée aux défauts avant l'examen manuel hors ligne à l'aide du logiciel Discover Review. Applications Inspection des bords - Surveillance du processus de lithographie - Fissures/copeaux - Résidus - Concentricité de l'EBR - Contrôle des adhésifs de collage Inspection de la face arrière - Rayures - Signatures de mandrins/effecteurs finaux - Détection de motifs au niveau du wafer - Corrélation entre les défauts de la face arrière et ceux de la face avant Spécifications - Détection des défauts de blister - Détection des boues, des contaminants de nettoyage et des films résiduels - Métrologie automatisée d'élimination des bourrelets de bordure (EBR) - Détecte les éclats et les fissures - Résout les problèmes de contamination - Détection des défauts de délamination