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Système de métrologie pour semiconducteurs QS1200™pour wafers
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Caractéristiques
- Type
- pour wafers, pour semiconducteurs
Description
L'outil de métrologie FTIR QS1200 est un système de table pour le contrôle de dopants, la mesure d'épaisseur d'épingles et d'autres applications
Aperçu des produits
Le système QS1200 est spécialement conçu pour les fabs de semi-conducteurs avancés qui effectuent la caractérisation des matériaux dans les zones de croissance du silicium et de fabrication de dispositifs. Il offre un nouveau niveau d'intégration de la technique FTIR en utilisant une technologie optique éprouvée, et un plateau manuel pour accueillir les plaquettes standard SEMI de 100, 125, 150, 200 et 300 mm de diamètre. Des pièces de plaquettes de forme irrégulière et des tranches de silicium de 2 mm d'épaisseur peuvent également être utilisées sur le système QS1200.
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Catalogues
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* Les prix s'entendent hors taxe, hors frais de livraison, hors droits de douane, et ne comprennent pas l'ensemble des coûts supplémentaires liés aux options d'installation ou de mise en service. Les prix sont donnés à titre indicatif et peuvent évoluer en fonction des pays, des cours des matières premières et des taux de change.