Machine de mesure d'épaisseur stationnaire ECV Pro™

de filmsans contactavec calibrage automatique

Le système ECV Pro a été conçu, à partir de zéro, pour éliminer toutes les variations des données dépendantes de l'opérateur. Aperçu des produits Le système ECV Pro est le standard industriel pour la mesure des profils de concentration des porteurs actifs dans les couches semi-conductrices. L'électronique numérique nouvellement conçue du système élimine la dérive et améliore considérablement le rapport signal/bruit. La conception unique du système ECV Pro élimine toute variation des données en fonction de l'opérateur. Présentation de la première caméra in-situ, ECVision, permettant à l'utilisateur d'imager les interfaces semi-conducteur/électrolyte. Il offre également un nouvel aperçu de l'enlèvement du film ou de la révélation des défauts pendant le processus de gravure. Le logiciel du système ECV Pro est construit sur les directives de la norme industrielle SEMI E-95. Ce logiciel supporte le profilage automatisé et est programmé pour générer des cartes de contrôle de procédé.