Système d'inspection par photoluminescence Vertex™

automatiquepour réacteur épitaxialpour wafers

Le système Vertex permet de contrôler le processus de mesure PL afin que votre processus épitaxial reste fermement sous contrôle. Aperçu des produits Le dernier ajout à la famille des RPM standard de l'industrie, le système Vertex prend un concept formidable et le conduit à sa conclusion ultime. Grâce à un nouveau profileur de faisceau embarqué, le système Vertex contrôle la densité de puissance en surveillant constamment la puissance du laser et les dimensions du point focal. Cela permet à l'utilisateur d'ajuster la densité de puissance à une valeur fixe en éliminant toutes les sources de variation entre les outils, ce qui permet une bonne adaptation des outils dans un environnement de production. De plus, le contrôle de la densité de puissance aide le système Vertex à fournir des mesures de données très précises et répétables.