Système de métrologie pour wafers The Atlas XP+

La série Atlas pour couches minces et OCD est l'outil de métrologie pour la fabrication de dispositifs de pointe FinFET, GAA (gate-all-around) FET, 3D NAND et DRAM avancés. Le système Atlas XP+ offre une plate-forme unique pour les mesures de couches minces et d'OCD pour la métrologie des plaquettes de 200 mm. Le système comprend un robot à deux bras, une platine de haute précision et un système de mise au point à grande vitesse. Le système est également doté d'une reconnaissance avancée des formes, d'une meilleure reproductibilité des épaisseurs et d'un débit supérieur pour les SR et SE. L'interface logicielle N2000™ et l'automatisation avancée sont conformes aux normes adoptées par SEMI et d'autres organisations. La fonction NanoNet®, un composant réseau du logiciel de la plateforme d'analyse N2000, permet une correspondance entre les systèmes et une transférabilité transparente des recettes.