Machine d'inspection pour wafers NovusEdge®

industriellepour l'industrie de l'emballagede défauts

Le système NovusEdge comprend des configurations modulaires permettant une inspection rapide et fiable du bord, de l'encoche et de la face arrière de la plaquette. Présentation du produit Le système NovusEdge permet une inspection à haute sensibilité du bord et de l'arrière des plaquettes nues non imprimées pour les nœuds actuels et avancés. Plusieurs modules peuvent être configurés sur la même plateforme d'automatisation pour augmenter le débit tout en maintenant un faible encombrement pour un coût de possession amélioré. La solution de manipulation par pincement des bords, tant pour la plate-forme d'automatisation que pour les modules d'inspection, assure la propreté requise pour la fabrication des plaquettes. Une inspection par encoche haute sensibilité peut être ajoutée en option à la configuration. Les défauts détectés sont automatiquement classés et classés par catégories au moment de l'exécution pour réduire la révision manuelle par l'opérateur. Le système est conçu comme un système d'inspection et de tri polyvalent pour l'inspection de la qualité en fin de ligne des plaquettes non structurées de 300 mm. Le système permet d'identifier, d'inspecter et de trier les plaquettes selon des recettes librement définissables. Applications - Inspection en cours de processus de plaquettes non structurées sur le site de fabrication des plaquettes. - Inspection à l'entrée des plaquettes non structurées chez les fournisseurs de sous-ensembles et de tests, les fabricants de dispositifs intégrés et les fonderies. - Qualification et surveillance des outils de traitement en conjonction avec les plaquettes de test. Spécifications - Sensibilité des bords inférieure au micron - Sensibilité de la face arrière jusqu'à des niveaux nanométriques - Inspection d'encoche à couverture complète - Brume - Capacité de triage - Configuration flexible des outils - Classification automatique des défauts avec des classes de défauts définissables par le client