Machine d'inspection de macro défaut F30™

de surfacepour wafersindustrielle

Conçu pour brouiller les pistes entre la micro inspection en champ sombre et la macro inspection traditionnelle, le système F30 permet une inspection automatisée des défauts pour les applications de qualité en amont et en aval (OQA). Aperçu du produit Le système F30 est doté d'une tourelle à cinq objectifs qui offre la flexibilité de résolution et de débit requise par les applications d'inspection multi-processus actuelles. Équipé d'une suite de productivité avancée (création de recettes sans plaquette, FOUP simultané, serveur de recettes et correspondance d'outils), le système F30 redéfinit les attentes en matière de coût de possession de l'inspection. Applications - Inspection après développement (ADI) - Assurance qualité de sortie de fabrication - Inspection après CMP - Inspection après gravure Spécifications - Débit jusqu'à 120 wph (10µm) - Flexibilité de la résolution (10µm à 0.5µm) - Trois méthodes simultanées d'examen des défauts de couleur : à la volée, haute résolution, tranche entière - S'associe à des modules de bord et de face arrière pour une solution toutes surfaces