Aligneur de masque de paillasse 200

L'aligneur de masque modèle 200 d'OAI est un aligneur de masque rentable et de haute performance qui a été conçu avec des composants éprouvés par l'industrie qui ont fait d'OAI un leader dans l'industrie des biens d'équipement de photolithographie. Le modèle 200 est un aligneur de masque de table qui nécessite un espace minimal en salle blanche. Il offre une alternative économique pour la R&D, ou la production pilote à échelle limitée. Grâce à un système innovant de mise à niveau par coussin d'air et mandrin à vide, le substrat est mis à niveau rapidement et en douceur, pour un alignement parallèle du photomasque et un contact uniforme sur la tranche de silicium pendant l'exposition par contact. Le système est capable d'une résolution et d'une précision d'alignement d'un micron. Le module d'alignement comprend des jeux d'inserts de masques et des mandrins de plaquettes à changement rapide qui facilitent l'utilisation d'une variété de substrats et de masques sans nécessiter d'outils spéciaux pour la reconfiguration. Le module d'alignement intègre des micromètres pour les axes X, Y et Z. L'aligneur de masques modèle 200 est équipé d'une source de lumière UV OAI fiable qui fournit une lumière UV collimatée dans l'UV proche ou profond à l'aide de lampes d'une puissance de 200 à 2000 watts. Des boucles de rétroaction optique à double capteur sont reliées au contrôleur d'intensité constante pour permettre le contrôle de l'intensité d'exposition à ±2 % de l'intensité désirée. Des modifications peuvent être apportées à la longueur d'onde UV rapidement et facilement. Cet aligneur de masque est une solution flexible et économique pour toute application d'entrée de gamme d'alignement de masque et d'exposition aux UV.