Source lumineuse à LED

UVUSBpour photolithographie

Ce nouveau générateur de lumière LED UV a été conçu et mis au point par les experts en lithographie de OAI. Le générateur offre un certain nombre d'avantages uniques, dont le plus important est une intensité constante pendant une durée de vie exceptionnellement longue. Le générateur est très économe en énergie, ne nécessite pas d'entretien ni de remplacement des lampes et ne contient pas de mercure. Le générateur de lumière à DEL UV d'OAI produit un faisceau de 4 à 12 pouces avec une uniformité du faisceau supérieure à +/- 4 %. Il est doté d'un réseau de prismes et d'un conduit de lumière pour une uniformité supérieure. L'angle de collimation est inférieur à 2 degrés. Cette source lumineuse est capable de produire des intensités variables, avec une longueur d'onde de 365 nm, 405 nm ou une combinaison des deux. Les caractéristiques comprennent le contrôle de la dose et l'exposition minutée. Facile à utiliser, la source lumineuse OAI utilise une interface à écran tactile et dispose d'une interface à distance USB. Le générateur UV offre une variété d'options, notamment un support robuste, un module d'outillage pour l'impression photolithographique et des versions à longueur d'onde unique ou multiple. Ce système peut être intégré à tout système de lithographie OAI.