Système de manutention automatique NWL200

pour microscope d'inspectionde waferde production

Les chargeurs de wafers NWL200 de Nikon, à la fois innovants et riches en fonctionnalités, permettent une inspection complète des wafers de semi-conducteurs de 6" (150 mm) et 8" (200 mm) de diamètre à l’aide d’un microscope optique ou d’un système de mesure vidéo, tel que Nikon NEXIV. Chargeur sophistiqué et fiable pour la manipulation d’une grande variété de gaufrettes La série NWL est une excellente gamme de chargeurs de wafer de semi-conducteurs de Nikon, capables de transférer des wafers de 6″ (150 mm) et de 8″ (200 mm) de diamètre avec une épaisseur allant jusqu’à 100 microns (en option) dans les microscopes Nikon Eclipse L200N et LV150N ou dans le système de mesure vidéo Nikon NEXIV VMZ-S. Utilisation combinée avec NEXIV – Métrologie par vidéo Le chargeur de wafers NWL200 associé à un système de mesure vidéo Nikon NEXIV offre une précision, une fiabilité et une rapidité remarquables pour l’inspection des semi-conducteurs dans un environnement de production. Haute fiabilité pour la fabrication de semi-conducteurs Lorsque l’alimentation électrique est interrompue inopinément, le mandrin à vide du bras macro reste actif, ce qui permet de déposer les wafers en toute sécurité. Fonctions d’inspection macro L’inspection des motifs de la face avant, du périmètre de la face arrière et de la partie centrale de wafer de semi-conducteur est prise en charge. La vitesse de rotation et l’angle d’inclinaison du wafer sont réglés automatiquement ou manuellement.