Platine de positionnement hexapode E-HEX-10.6.100
linéairerotativeà moteur linéaire

platine de positionnement hexapode
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Caractéristiques

Orientation
linéaire, rotative
Type
piézo, à moteur linéaire, à servomoteur linéaire, à commande manuelle, hexapode
Nombre d'axes
6 axes
Autres caractéristiques
de haute précision, compacte, pour microscopes, compatible vide, à entraînement direct, à billes, avec indicateur de position
Course

50 mm
(1,969 in)

Vitesse

100 m/s
(328,08 ft/s)

Répétabilité

0,2 µm

Charge

10 kg
(22,05 lb)

Description

structure hexapode 6 axes Tri-pode E-HEX-10.6.100.100-XXX Séries de platines parallèles à six degrés de liberté Brève description : Caractéristiques : Haute précision, peut être assemblé, peut être personnalisé, ouverture lumineuse 460mm Elle offre une résolution de positionnement ultrafine et une capacité de charge utile suffisante. Idéale pour les applications nécessitant des mouvements complexes à plusieurs degrés de liberté lorsque l'espace disponible est limité. Elle convient au nivellement des plaquettes de semi-conducteurs. Scénario d'application de l'inspection optique, chemin optique de réglage à grande ouverture creuse.

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