Machine d'inspection 3D Proforma 300SA series

de surfacepour waferspour semi-conducteur

Balayage de toute la surface de la tranche pour l'épaisseur, la variation d'épaisseur, la courbure, la déformation, le sori, le site et la planéité globale Mesure l'épaisseur, la variation d'épaisseur, la courbure, la déformation, le site et la planéité globale. Caractéristiques Capteurs capacitifs exclusifs MTI pour une précision et une répétabilité exceptionnelles Plage complète de mesure de l'épaisseur de 1000 µm sans recalibrage Mesure l'épaisseur, le TTV, la courbure, la déformation, la planéité du site et la planéité globale Interface utilisateur Windows® Mesures conformes aux normes ASTM Conception conforme aux normes de santé et de sécurité SEMI S2-0200 Conception ergonomique conforme à la norme SEMI S8-0999 Mesure tous les matériaux y compris Si, GaAs, Ge, InP, SiC *** *** à condition que la résistivité globale soit inférieure à 20K Ohm/cm À propos du système de métrologie semi-automatique Le Proforma 300iSA est un système de mesure semi-automatique de table/de bureau pour les matériaux semi-conducteurs et semi-isolants. Basé sur la technologie exclusive de capacité Push-Pull de MTII, le Proforma 300iSA offre un balayage complet de la surface de la tranche pour l'épaisseur, la variation d'épaisseur, la courbure, la déformation, le sori, le site et la planéité globale. Des modèles de balayage définis par l'utilisateur et conformes à la norme ASTM/SEMI sont utilisés pour générer des images tridimensionnelles (3D) de la plaquette. Des rapports de données personnalisés sont disponibles pour visualiser les données tabulaires de chaque tranche mesurée avec une exportation rapide et facile vers votre programme de feuille de calcul. Spécifications des plaquettes Diamètre : 150 mm, 200 mm, 300 mm Matériau : Toutes les tranches semi-conductrices et semi-isolantes, y compris Si, GaAs, Ge, SiC et InP Surfaces : Taillées, rodées, gravées, polies, structurées Plats/encoches : tous les plats ou encoches standard SEMI Conductivité : Type P ou N