Système de métrologie pour wafers Proforma 300i

pour semiconducteurs

Une alternative rentable aux systèmes entièrement automatisés de mesure et d'inspection des plaquettes Ce produit permet de mesurer l'épaisseur et la courbure de tous les matériaux de plaquettes, y compris le silicium, l'arséniure de gallium, le phosphure d'indium et le saphir ou le ruban Caractéristiques Le port USB avant permet de stocker facilement les mesures et autres données sur des lecteurs flash Circuit capacitif exclusif de MTI Instruments pour une précision et une fiabilité exceptionnelles Mesures sans contact gamme de plaquettes de 76 à 300 mm de diamètre Anneaux de mesure des plaquettes en option Butées de plaquettes pour un centrage exact Interface Ethernet Logiciel complet de contrôle à distance (compatible avec Windows) Plaquettes d'étalonnage en option À propos du système manuel de métrologie des semi-conducteurs La jauge d'épaisseur de wafers Proforma 300i est un système de mesure différentiel basé sur la capacité qui effectue des mesures d'épaisseur sans contact sur des wafers semi-conducteurs et semi-isolants. En utilisant la technologie Push/Pull de MTI, le Proforma 300i ne nécessite pas que les wafers aient une masse électrique constante, ce qui permet d'obtenir une précision et une répétabilité exceptionnelles pour la plupart des types de wafers. Le système Proforma 300i comprend un logiciel de commande à distance complet et une interface réseau Ethernet. *L'arséniure de gallium nécessite une reconfiguration de la sonde pour les matériaux semi-isolants dont la résistance globale dépasse 10K-Ohm cm.