Filtre à gaz

à tamisde dépoussiéragegrand débit

Filtration de haute précision, à haut débit et entièrement métallique, conçue spécialement pour les systèmes de gaz intégrés (IGS). Mott High Purity - qui fournit depuis des années des filtres métalliques poreux et des réducteurs de débit pour la fabrication de semi-conducteurs - propose également ces mêmes produits dans des conceptions compatibles IGS. Ainsi, vous pouvez maintenant combiner la facilité d'installation, l'accessibilité des composants, la facilité d'entretien, le temps de montage réduit et la compatibilité entre les composants typiques d'IGS, avec la sélection et les avantages de performance offerts exclusivement par Mott. La mission de Mott's est de fournir à ses clients des solutions uniques de filtration et de contrôle de débit en utilisant des matériaux spécialement conçus pour des conditions de fonctionnement exigeantes, une efficacité de 9 LRV et un contrôle de débit exigeant. Notre gamme complète de filtres IGS et de réducteurs de débit est conçue pour être compatible avec les interfaces de systèmes gaz actuellement spécifiées sur les outils de process, les armoires à gaz et les installations de collecteurs de vannes selon SEMI 2787. Au fur et à mesure que les défis de la conversion au 300 mm sont apparus, notre technologie a apporté les solutions nécessaires. Débits élevés - Les fluides métalliques poreux Mott ont des propriétés uniques qui permettent la production d'une plus grande variété de débits, de matériaux et de configurations que nos concurrents. Cette flexibilité de la géométrie permet d'obtenir des filtres avec des débits allant jusqu'à 100 slpm tout en répondant aux exigences de l'industrie en matière d'enveloppe. Gamme complète de configurations de produits - Les offres de montage modulaire IGS standard de Mott comprennent la configuration 1,125" avec joint C-Seal ou W-Seal, ainsi que la version 1,5" avec joint C-Seal ou W-Seal. Nous avons le design qu'il vous faut.