Les filtres à montage en surface Mott GasShield® offrent des capacités de filtration haut de gamme de 0.0015 μm dans les systèmes de gaz intégrés utilisés dans les outils OEM à semi-conducteurs. Ces GasShield® Les filtres à montage en surface sont conçus pour s'adapter parfaitement aux systèmes de distribution de gaz à montage en surface à quatre attaches de 1.125" et 1.5", avec les configurations C-seal et W-seal. Ils sont compatibles avec une large gamme de gaz inertes ainsi qu'avec la plupart des gaz spéciaux.