Diffuseur d'air

Comment maximiser le débit sans compromettre le rendement. Un moyen simple d'augmenter le débit d'un outil sans affecter le rendement est d'augmenter la vitesse de toutes les étapes non liées à la formation réelle du circuit semi-conducteur. L'une de ces étapes est la re-pressurisation ou " ventilation " du sas du sas, qui crée un environnement à pression positive qui empêche la migration des particules de la salle blanche dans la chambre. Le défi : Pressurisez sans déranger les particules La chambre est un environnement contaminé et la pressurisation peut perturber les particules qu'elle contient et les faire tomber à la surface de la plaquette. Le défi est de pressuriser le plus rapidement possible, mais sans créer de jets de gaz qui peuvent perturber les particules. La solution : Diffuseurs Mott GasShield® ; POU (point d'utilisation) Mott métal poreux peut grandement réduire le temps de "ventilation" de la serrure de charge sans l"effet adverse "jet" vu à travers les pommes de douche et les lignes d"entrée simple 1/4" ;. Le métal poreux réduit la vitesse du gaz de purge pour assurer un flux uniforme et laminaire de gaz dans la chambre. Les alternatives au diffuseur Mott créent des écoulements avec un ou plusieurs jets de gaz, éventuellement non lamellaires. Nos diffuseurs, par comparaison, ont été testés pour une vitesse d'écoulement uniforme à ±5% sur toute la surface.