Régulateur de débit massique thermique P2 MFC

pour gaz corrosifnumérique

Le PFC-60 ΠMFC, construit par des instruments de MKS, est un contrôleur thermique numérique d'écoulement de la masse particulièrement utilisé pour les gaz corrosifs. Le dispositif se composent de l'amélioration en technologie en termes de fonctionnalité et exécution. Elles aident les utilisateurs dans le semi-conducteur et les applications en couche mince de grande pureté. Le contrôle de flux du dispositif est peu sensible aux perturbations ascendantes et descendant. La commande en temps réel de l'écoulement de gaz et de son exactitude est améliorée. Ils ont une meilleure chambre s'assortir que des MFCS numériques basées par PID. La sonde de pression et l'affichage à LED Est combinée afin de diminuer les composants requis dans un bâton de gaz. L'installation et le dépannage des cpc in-situ est dû à l'interface basée sur le WEB de navigateur.