La série de RGA, construite par des instruments de MKS, est un type de spectromètre de masse de processus. Le dispositif est un instrument innovateur de surveillance de processus. Ils sont combinés avec des lots de programmes d'application tels que les analyseurs résiduels de gaz, RGA, dispositifs analytiques et logiciel de gestion.
La surveillance de vide se composent des processus ultra sous vide élevé, de CVD, de la ligne de base RGA de vide, etc.
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