L'analyseur de multi-gaz, construit par MKS Intruments, est particulièrement employé pour le gaz de processus. Le dispositif emploie une transformée de Fourier infrarouge (FTIR) et un infrarouge nondispersive (NDIR). Le dispositif est également capable du ppb à la sensibilité de page par minute pour des gaz tels que NF3, NH3, H2, NON et N2O. Il peut également être employé sur des gaz avec de l'eau 30%.
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