Régulateur de débit massique thermique 1640A

pour gaz

Les instruments 1640 de MKS Pression-ont basé le contrôleur d'écoulement de la masse est un instrument métal-scellé avec la norme empreinte de pas de 3 pouces, conçue pour doser et commander des écoulements de gaz dans la bas-ligne faites pression sur les applications où des contrôleurs thermiques d'écoulement de la masse sont limités dans leur capacité de mesurer exactement l'écoulement. Le 1640 utilise le principe de sonique traversent un orifice, une condition remplie quand la pression ascendante de commande est au moins deux fois la pression descendant. Dans ces conditions, l'écoulement de la masse est proportionnel à la pression de commande. Dans le 1640A Pression-Basé le contrôleur de la Masse-Flo, un manomètre de capacité de Baratron® surveille la pression d'amont de l'orifice critique. Cette pression est proportionnelle à l'écoulement. La pression mesurée est comparée dans les circuits de commande à l'écoulement de point de consigne. Un signal de commande est alors produit de conduire la soupape de commande proportionnelle à la conductibilité au besoin pour introduire la pression réelle de commande (écoulement) dans l'accord avec l'écoulement de point de consigne.