Générateur d'ozone à haute concentration SEMOZON® AX8410 PRIME

de laboratoirecompact

Le SEMOZON® AX8410 PRIME est le premier produit de la nouvelle génération de générateurs d'ozone compacts, à haute concentration, à haut débit et ultra propres de MKS. Il est doté d'une cellule et d'une structure de puissance nouvellement conçues pour atteindre une production d'ozone deux fois supérieure à celle des modèles précédents avec un encombrement au sol similaire. Le SEMOZON® AX8410 PRIME transforme l'oxygène en ozone par décharge électrique silencieuse. Sa nouvelle conception de cellule brevetée répond aux nouvelles exigences des procédés exigeant des concentrations d'ozone plus élevées à des débits allant jusqu'à 80 slm. L'augmentation du débit et la concentration plus élevée positionnent le générateur PRIME AX8410 pour répondre aux exigences en matière d'ozone de la prochaine génération de procédés semi-conducteurs.