Régulateur de débit massique thermique IE50A

pour gaz

Le contrôleur d'écoulement de la masse d'IE50A est un usage universel, cpc élastomère-scellé avec des possibilités de contrôle de flux 5 du sccm à SLM 50 complet, équivalent de N2. Il incorpore le plus en retard dans l'électronique numérique de contrôle de flux et une sonde thermique prouvée et brevetée et une conception mécanique. L'IE50A est un cpc à commande numérique offert avec l'analogue (0 à 5 volts continu ou 4-20 mA) ou une série de (RS485, Profibus® et DeviceNet™) entrée-sortie numérique. L'électronique de commande numérique utilisent le plus en retard dans des algorithmes de commande de MKS pour la réponse rapide et qu'on peut répéter à de point de consigne dans toute la gamme de commande. Les temps de réponse typiques sont sur l'ordre de 500 millisecondes. Un calibrage numérique (inclus) rapporte 1% d'exactitude de point de consigne sur le gaz de calibrage.