Régulateur de débit massique thermique GM50A

pour gaz

Le contrôleur à commande numérique d'écoulement de la masse de GM50A est disponible avec RS485, entrée-sortie de Profibus™, d'EtherCAT, ou de DeviceNet™. L'électronique de commande numérique utilisent les derniers algorithmes de commande de MKS pour la réponse rapide et qu'on peut répéter à de point de consigne dans toute la gamme de commande d'appareil. Les temps de réponse typiques sont sur l'ordre de 500 millisecondes. Le calibrage de Digitals rapporte 1% d'exactitude de point de consigne sur le gaz de calibrage. Des protocoles d'entrée-sortie sont conçus pour permettre au GE50A de remplacer facilement RS485 et versions de DeviceNet du MKS 1479A cpc par le codage mineur. Une norme empreinte de pas de 3 pouces permet son utilisation sans ligne configurations existante de modification de gaz. Le contrôleur d'écoulement de la masse de GM50A a une finition extérieure electropolished (le mètre d'écoulement de la masse de GM50A pas electropolished).