Système de mesure sans contact de haute précision
- Offre une ultra-haute précision avec une linéarité de ±0,5 μm sur toute la plage de mesure (0,05 mm à 10 mm) et ±(0,3+0,1ΔD) μm dans la plage étroite.
- Répétabilité ultra-élevée de ±0,04 μm.
- Taux de balayage élevé de 3200 balayages/s
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