Station de mesures sous pointes semi-automatique SPS-HP series

Systèmes semi-automatiques de haute précision - Mandrin XY motorisé, mouvement Z motorisé du mandrin en configuration standard. Le thêta motorisé est une option. - Moteur pas à pas, encodeurs linéaires. - Coût compétitif pour les spécifications de positionnement. - Idéal pour les essais et la chractérisation de la production à faible volume. Spécifications - Taille des plaquettes Jusqu'à 300 mm - Type de moteur Moteur pas à pas - Course de la platine XY Jusqu'à 300mmx300mm - Résolution et répétabilité de la platine XY Motorisé, résolution de 0,15μm, répétabilité de +/-1,2μm - Vitesse XY (max) 50mm/s - Vitesse Z (max) 10mm/s - Course du plateau 12.7mm ou 25mm - Réglage du plateau Double contrôle grossier et fin avec une répétabilité supérieure à 1µm - Planéité du plateau <12.7μm sur 200mm - Rigidité du plateau <50μm pour 4.5kg - Mandrin à vide Vide multizone - Planéité du mandrin +/-13μm - Tension de claquage du mandrin Au moins 500V - Isolation du mandrin Au moins 1GΩ - Réglage du mandrin 360° grossier, +/-6° fin - Microscope Zoom stéréo de haute qualité avec une distance de travail allant jusqu'à 200 mm et un grossissement allant de 3,5X à 180X - Bornes de traversée BNC, Triax ou fiche banane - Dimensions du système 101 cm de largeur x 91 cm de profondeur x 88 cm de hauteur