Station de mesures sous pointes semi-automatique SPS-2 series

sous vide

Les séries SPS-2600-VAC et SPS-2800-VAC sont des systèmes de sondes à vide de MicroXact conçus pour prendre en charge le palpage motorisé ou semi-automatique de plaquettes jusqu'à 100 mm ou jusqu'à 200 mm dans une atmosphère de vide ou de gaz contrôlé. Cette solution de test sous vide est systématique et précise, rentable, peu bruyante et pratique à utiliser. Ces systèmes de sondes à vide sont construits sur une plateforme polyvalente compensée en vibration, capable d'être configurée pour traiter une large gamme d'applications de sondage. Idéaux pour les tests sans givre jusqu'à 77K ou pour les tests à haute température de dispositifs et de composants sujets à l'oxydation, les systèmes de sondes à vide de MicroXact offrent un environnement contrôlé pour les tests au niveau des plaquettes. Caractéristiques des sondes à vide - Disponible avec une répétabilité/résolution standard (+/-7mm/1.5mm) et une répétabilité/résolution élevée (meilleure que 2mm/100nm) en X et Y. - Disponible avec une platine thêta manuelle ou motorisée. - Des bras de sonde avec réglage manuel externe du micromanipulateur sont disponibles. - Disponible avec des mandrins thermiques refroidis à l'azote liquide pour des tests jusqu'à des températures d'azote liquide. - La configuration standard comprend un tube zoom 7:1X pour une résolution supérieure à 4 μm. 12.des objectifs de zoom 5:1 et 16:1 sont également disponibles. Les microscopes composés haute résolution peuvent être adaptés grâce à une conception spéciale du couvercle supérieur. - Isolation efficace des vibrations de la pompe à vide. - Logiciel d'automatisation XactTest™ avec ajout d'un contrôle automatisé de la pression.