Station de mesures sous pointes résistivité A4P-series

Les appareils de mesure de la résistivité des wafers de la série A4P utilisent des normes industrielles éprouvées pour fournir des mesures rapides, précises et fiables de la distribution de la résistivité des échantillons. Les sondes à quatre points de MicroXact mesurent la résistance moyenne des tranches de semi-conducteurs des couches en faisant passer du courant par les points extérieurs d'une sonde à quatre points et en mesurant la tension aux points intérieurs. La valeur de la résistivité, la propriété du matériau lui conférant une résistance électrique, peut alors être trouvée en multipliant la résistance de la feuille par l'épaisseur d'un film. Proposée en système de 100 mm, 150 mm, 200 mm ou 300 mm, la sonde à quatre points A4P est conçue pour ne nécessiter aucun entretien et être très facile à utiliser. De nombreuses options sont disponibles pour ce système, notamment des tests thermiques à large portée, des mandrins personnalisés pour les matériaux non standard et des sondes à quatre points personnalisées pour presque toutes les applications. Logiciel d'automatisation des mesures de résistivité Le logiciel d'automatisation A4P-200-PLUS permet de réaliser des essais semi-automatiques ou entièrement automatisés avec le système de cartographie de résistivité. L'interface est conçue pour être simple mais puissante, permettant aux utilisateurs de mettre en place facilement une procédure de test automatisée pour presque tous les types de structures de plaquettes. Le logiciel basé sur LabView est structuré de manière logique et permet une intégration facile des équipements de test et de mesure du client. Le logiciel peut être installé sur tout PC équipé du système d'exploitation Windows XP ou supérieur.