Systèmes semi-automatiques standard
- Mandrin XY motorisé, plateau motorisé dans le SPS-2600, mouvement Z motorisé du mandrin dans le SPS 2800 en configuration standard. Le thêta motorisé est une option.
- Basé sur un moteur pas à pas, sans encodeurs.
- Coût très compétitif
- Hautement recommandé dans les applications où un test ou un blindage en dessous de 0°C est souhaité
- Options disponibles : mandrins chauffés ou refroidis, lunettes à zoom ou microscopes composés, divers blindages, sélection des mandrins pour les mesures DC et RF, et bien d'autres encore
Spécifications
- Taille des plaquettes
Jusqu'à 200 mm
- Type de moteur
Moteur pas à pas
- Course de la platine XY
Jusqu'à 200mmx200mm
- Résolution de la platine XY
motorisée, répétabilité de 6.5μm
- Vitesse XY (max)
9.5mm/s
- Vitesse Z (max)
5mm/s
- Déplacement du plateau
12.7mm ou plus
- Réglage du plateau
Double contrôle grossier et fin avec une répétabilité supérieure à 2,5 µm
- Planéité du plateau
<12.7μm sur 200mm
- Rigidité du plateau
<50μm pour 4.5kg
- Mandrin à vide
Vide multizone
- Planéité du mandrin
+/-13μm
- Tension de claquage du mandrin
Au moins 500V
- Isolation du mandrin
Au moins 1GΩ
- Réglage du mandrin
360° grossier, +/-6° fin
- Microscope
Zoom stéréo de haute qualité avec une distance de travail allant jusqu'à 200 mm et un grossissement allant de 3,5X à 180X
- Bornes de traversée
BNC, Triax ou fiche banane
- Dimensions du système
122 cm de largeur x122 cm de profondeur x 92 cm de hauteur
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