Interféromètre pour mesure de déplacement sub-nanométrique interferoMETER 5600-DS

pour mesure de distanceoptiqueà lumière blanche

Le interféromètre à lumière blanche IMS5600-DS est utilisé pour la mesure de distance avec la plus grande précision. Le contrôleur doté d’un réglage spécial avec une évaluation intelligente, permet des mesures absolues avec une résolution subnanométrique. L’interféromètre est utilisé pour mesurer des tâches exigeant la plus grande précision, par exemple dans l’électronique et la production de semi-conducteurs. Le système fournit des valeurs de mesure absolues et peut donc également être utilisé pour la mesure de la distance des profils de dénivelés. Grâce à la mesure absolue, les dénivelés sont échantillonnés avec une grande stabilité du signal. Lors de mesures sur des objets en mouvement, les différences de niveau des talons, des dénivelés et des cavités peuvent ainsi être détectées de manière fiable. Le système de mesure offre une résolution subnanométrique avec un grand écartement de base par rapport à la plage de mesure. Lors de la mesure de distance multi-peak sur des objets transparents, jusqu'à 14 valeurs de distance sont évaluées simultanément. Cela permet par exemple de déterminer la distance entre le verre et une plaque de support. Au-dessus, le contrôleur peut calculer l'épaisseur du verre à partir des valeurs de distance. Les interféromètres de la série IMS5600-DS peuvent être utilisés pour des tâches de mesure dans des environnements sous vide et des salles blanches.