Capteur de débit MEMS MSH01

au siliciumvolumiquemassique

Le capteur de débit à noyau sensible est basé sur le principe du transfert de chaleur. La structure du capteur se compose d'une micro-source de chaleur située sur le film sensible, d'un capteur de température en amont et d'un capteur de température en aval symétriques par rapport à la micro-source de chaleur, et d'un capteur de température ambiante situé sur la base en silicium. Lorsqu'il n'y a pas d'écoulement de fluide sur la surface du capteur, le champ de température autour de la source de microchaleur est réparti symétriquement, comme dans la figure (a) ; lorsqu'il y a un écoulement de fluide sur la surface du capteur, le champ de température autour de la source de microchaleur est perturbé en raison de l'effet de refroidissement du fluide sur la source de microchaleur, et l'amont et l'aval de la source de microchaleur sont répartis asymétriquement, comme dans la figure (b) ; plus l'écoulement de fluide est important, plus le champ de température autour de la source de microchaleur est perturbé. (b) ; plus la vitesse d'écoulement du fluide est élevée, plus le débit de gaz emporté par la source de microchaleur est important, et plus l'asymétrie est grande. La vitesse d'écoulement du fluide est obtenue par la différence de température entre les capteurs de température en amont et en aval. - Rapport de gamme étendu>300:1 - Temps de réponse rapide<5ms - Débit de démarrage ultra-faible <0,05m/s - Sensibilité et précision élevées Précision de lecture supérieure à +/-3% - Pièces inamovibles, haute fiabilité - Convient aux gaz et aux liquides propres - Appareil respiratoire médical, équipement de diagnostic - Contrôle des piles à combustible - Débitmètre d'air automobile - Équipement de gaz domestique - Analyseur de spectrométrie de masse par chromatographie en phase gazeuse et liquide - CHAUFFAGE, VENTILATION ET CLIMATISATION (CVC) - Détecteur de fuites - Automatisation industrielle