voyage de 15 millimètres à l'empreinte de pas de 70 x 70 millimètres
pour la boucle fermée (résolution jusqu'à de 50 nanomètre)
pour le système de NOVA
Étapes miniatures de traduction avec la commande à inertie électrique piézo-électrique pour le système de NOVA. Édition courante
* Les prix s'entendent hors taxe, hors frais de livraison, hors droits de douane, et ne comprennent pas l'ensemble des coûts supplémentaires liés aux options d'installation ou de mise en service. Les prix sont donnés à titre indicatif et peuvent évoluer en fonction des pays, des cours des matières premières et des taux de change.