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Platine de positionnement linéaire MS15XYZpiézoélectrique3 axes
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Caractéristiques
- Orientation
- linéaire, XYZ
- Type
- piézoélectrique
- Nombre d'axes
- 3 axes
- Autres caractéristiques
- miniature, compatible vide
- Course
3 mm
(0,118 in)- Vitesse
1,5 mm/s
Description
pour des conditions de vide très poussé jusqu'à 10^ (- 9) mbar
voyage de 3,5 millimètres dans la direction de x, de y et de z
empreinte de pas de 15 x 15 millimètres
Étapes miniatures ultra petites de traduction avec la commande à inertie éclectique piézo-électrique. Édition d'UHV de MS15.
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