Laserscale rotative compacte et réfléchissante offrant une grande précision, une haute résolution et une grande vitesse de réponse. Idéale pour les mesures d'angle à haute résolution dans les équipements de fabrication de semi-conducteurs, les instruments de mesure de précision et les machines de traitement des surfaces asphériques.
Longueur d'onde du signal : 250 nm
Vitesse de réponse élevée : 1 500 mm/s (en utilisant la sortie analogique), 700 mm/s (en utilisant l'interpolateur BD96), 160 min-1 (en utilisant l'échelle r=41 mm), 555 min-1 (en utilisant l'échelle r=12 mm)
Haute résolution : 4 294 967 296 impulsions/rotation (en utilisant l'échelle r=41mm, divisions=4 096) 3,017 x 10-4 sec (en utilisant l'échelle r=41mm) 1,46nrad (en utilisant l'échelle r=41mm)
Disponible avec/sans point de référence
Tête fine d'une épaisseur de 12 mm
Interpolateurs disponibles avec différentes résolutions et modes de sortie
Modèles spéciaux non magnétiques et compatibles avec le vide disponibles
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