Haute vitesse et haute résolution, tout en maintenant une mesure stable et ultra-précise. Idéal pour les platines de précision, les systèmes d'inspection/fabrication de semi-conducteurs et les machines de traitement de haute précision.
Échelle à haute résolution avec un pas de signal d'environ 138 nm, surpassant les systèmes d'interférométrie à ondes lumineuses
Grande stabilité, insensible à l'humidité, à la pression atmosphérique et aux perturbations de l'air
Précision du point de référence : ±0,1µm
La conception sans contact élimine l'erreur de retour.
Longueur de mesure : 9 types (-R/-RS)
Longueur de mesure : 10 types (-N/-NS)
Modèles spéciaux non magnétiques et compatibles avec le vide disponibles
Utilisation de verre à faible dilatation : -0,7 x10-6 °C (longueur de mesure : 10 à 420 mm)
Résolution : 2,1 pm
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