Coucheuse automatique SE series

haute précision

1. La conception identique des compartiments à vide de 795 mm permet aux utilisateurs de changer librement l'emplacement de la pompe, de la séparation des gaz et des compartiments cathodiques, ce qui améliore la flexibilité du processus. 2. La nouvelle conception du dispositif de séparation des gaz évite la dérive des gaz entre les compartiments de la cathode et permet d'obtenir un meilleur effet de séparation des gaz. 3. Le tube de support en aluminium extrudé permet d'isoler l'aimant et sa culasse de l'eau de refroidissement afin d'éviter la modification du champ magnétique due à un trempage prolongé dans l'eau. 4. Équipé d'un système de gaz auxiliaire de 5 à 9 collecteurs, chacun pouvant être différent selon les exigences du processus 5. Le contrôle du transport de haute précision peut être assuré par des servomoteurs. 6. Réduction du volume des chambres d'entrée et de sortie pour améliorer l'efficacité et réduire les coûts. 7. Un couvercle cathodique intégré réalise une combinaison parfaite en plaçant le collecteur de gaz, les contrôleurs, les connexions pour l'alimentation électrique et les différents supports dans une "boîte" pour rendre la configuration du processus plus flexible. 8. Chaque cathode est équipée d'un système de contrôle indépendant. 9. La conception du couvercle en une seule pièce permet de faciliter le levage mécanique et hydraulique, ce qui permet d'obtenir un meilleur contrôle automatique. 10. L'utilisation de pompes turbo-moléculaires maglev avancées et de pompes à vis permet d'éviter la pollution due au reflux d'huile et rend le système plus fiable et plus efficace.