Pour atteindre cet objectif, Logitech a développé des systèmes avancés de polissage chimique comme procédé de finition pour une large gamme de matériaux. Les systèmes CP3000 et CP4000 permettent d'obtenir un excellent polissage de la surface avec un minimum de dommages superficiels et sub-superficiels à la structure du réseau cristallin.
Le système CP3000 est un système compact conçu pour s'intégrer dans votre armoire d'extraction des fumées existante. Le système CP3000 peut traiter jusqu'à 3 échantillons de 112 mm à la fois.
Le CP4000 est un système d'extraction des fumées intégré, offrant une solution sûre et rentable pour les opérations de polissage chimique agressives. Ce système peut traiter soit 1x 200mm (8″) de plaquette sur un substrat de support 207mm, 3x 100mm (4″) sur des substrats de support 112mm, 3x 150mm (6″) d'échantillons sur des substrats de support 160mm ou 9x 75mm (3″) d'échantillons sur des substrats de support 83mm en une seule fois. (de multiples échantillons plus petits et des tailles d'échantillons uniques sont également possibles)
Ces systèmes de polissage chimique sont résistants aux produits chimiques utilisés dans les processus de polissage utilisant le brome méthanol, le peroxyde alcalin ou les gravures acides par exemple.
Voici un résumé de leurs caractéristiques :
Construction résistante à la corrosion en polypropylène, PVDF et polyuréthane peint à l'époxy.
Arrangements adaptables des plateaux pour s'adapter aux différentes tailles et géométries des échantillons.
Une attention particulière est portée aux aspects de sécurité et au confort de l'opérateur.
Adaptation à la plupart des types d'agents de gravure agressifs (par exemple, le brome et le méthanol)
Caractéristiques principales
Dommages minimaux sous la surface
Une large gamme de tailles de plaquettes peut être polie, jusqu'à 200mm (8″) sur le CP4000
Construction robuste et résistante à la corrosion
Polissage fin par attaque des tranches de semi-conducteurs et des cristaux électro-optiques
Deux versions disponibles : CP3000 et CP4000
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