L'Akribis-Air est un système de préparation d'échantillons intelligent et autonome qui offre le nec plus ultra en matière d'innovations de traitement et constitue une machine autonome hautement automatisée. Offrant un contrôle dynamique de la charge des gabarits aériens intelligents de Logitech, le système offre des résultats rapides, fiables et très précis dans une large gamme d'applications.
Le niveau d'automatisation offert par Akribis-air réduit considérablement les interventions de l'utilisateur, la variabilité, les opérations de réglage et de nettoyage. L'intégration d'un système logiciel avancé fournit une plateforme conviviale et hautement contrôlée pour un traitement avancé. Les gabarits pneumatiques intelligents à rotation libre développés par Logitech utilisent la pression de l'air pour permettre une application maximale de la charge de l'échantillon tout au long du processus - répondant ainsi aux besoins des applications les plus exigeantes.
Akribis-air est chimiquement résistant aux produits chimiques standard utilisés dans les applications CMP, notamment l'hypochlorite de sodium (Na OCL).
Les applications typiques de ce système comprennent :
- Silicium - Circuits intégrés, solaire et guides d'ondes
- Amincissement et polissage III-V & II-VI
- Saphir - LEDs
- Carbure de silicium - Optique, LED et électronique de puissance
- Nitrure de gallium - Dispositifs optiques, lasers et RF
- Polissage optique - Tiges infrarouges, fibres optiques et laser
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Caractéristiques principales
Système autonome à une station avec la possibilité de traiter des échantillons de 100mm/4″ ou 150mm/6″ - un bras de rouleau de gabarit entraîné augmente considérablement la précision et la répétabilité.
plateau de 400mm avec des vitesses de rotation entre 5-100rpm - facilitant des taux de rodage et de polissage plus rapides.
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