recuit, durcissement, séchage, revêtement de surface
Modification de la surface de la plaquette dans une atmosphère de gaz protecteur
Les autres applications possibles sont les suivantes
Procédés de revêtement dans l'industrie de l'électronique et des semi-conducteurs
SPÉCIFICATIONS DES PRODUITS
Les caractéristiques les plus importantes :
2 zones chauffées électriquement
Salle blanche classe 100
Mesure de l'oxygène résiduel
Refroidissement rapide
Chambre en acier inoxydable (1.4301), électro-poli
Dispositif d'alimentation en gaz (Ar, N2)
Chauffé par un élément chauffant tubulaire
Puissance de chauffage d'environ... 5 kW
Précision de la température +/-3k
Circulation du gaz
Nous rendons cela possible :
Linn High Therm est spécialisé dans l'adaptation de ses produits aux exigences de ses clients. N'hésitez pas à nous faire part de vos besoins en matière de modifications. Nous ferons tout ce qui est en notre pouvoir pour satisfaire vos souhaits.
Options standardisées possibles
Différents systèmes de contrôle
Refroidissement d'urgence à l'eau
Logiciel de guidage du processus
Refroidisseur à circulation
Dispositif d'extinction avec surveillance de la flamme
Paquet de sécurité
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